BOBRO Cleaning-CA6530硅片清洗剂 技术说明书

产品型号： BOBRO Cleaning-CA6530

产品概述

BOBRO Cleaning-CA6530 是一款专为硅片材料研发的高效环保型清洗剂。本品能有效清除硅片加工过程中残留的有机污物、颗粒及指纹，满足光
伏及半导体行业对表面洁净度的严苛要求。适用于超声波、喷淋及浸洗多种工艺。

产品特性

· 无磷环保（洁净配方）：系列产品均满足不含磷的要求，无金属离子污染，易于漂洗，符合光伏及电子行业环保标准。

· 低残留（高洁净度）：针对硅片表面的硅粉、油污及添加剂残留具有极强的渗透、分散能力，清洗后表面洁净度高、无残留，不影响后续工艺。

· 材质安全：对硅片基材无腐蚀、无侵蚀，不损伤表面微结构，适用于精密硅片及光学元件的清洗。

· 工艺兼容：适用于超声波、喷淋、浸泡等多种清洗模式，40~60℃温度范围内表现稳定。

理化指标

使用指南

1. 配制浓度：

   · 一般清洗：建议配制比例为 3% - 5% 。

   · 重污垢清洗：建议配制比例为 5% - 8% 。

2. 清洗工艺：

   · 超声波清洗：将稀释液加热至 40℃ - 60℃，超声波清洗 3-8 分钟。

   · 喷淋/浸泡清洗：喷淋压力建议 ≤0.3MPa；浸泡可配合适当摆动，清洗后用高纯水漂洗。

3. 后处理：清洗后需用去离子水或高纯水彻底漂洗，并立即烘干。

注意事项

1. 材质专一：本品专为硅片及半导体材料设计。请勿用于金属材质的混合清洗。

2. 水质要求：建议配合去离子水使用，以避免水渍残留。

3. 安全防护：操作时佩戴橡胶手套，避免直接接触皮肤。如溅入眼中，立即用大量清水冲洗。

包装与储存

· 包装规格：25kg/桶；200kg/桶；1000kg/桶。

· 储存条件：阴凉、干燥、通风库房，防冻防暴晒。

· 有 效 期：未开封保质期 2 年。